用于晶片端面四方向晶片原子面角度测量；及对晶片柱面notch反向晶片原子面角度测量，双工作台的独立操作，具有自动寻峰，自动计算差值，历史报警查询与标准晶向角度保存等功能。 设备精度为±30”，小读数1”
适用晶体
硅、蓝宝石、压电晶体、碳化硅、砷化镓、磷化铟等III-V族化合物
